近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）在上交所公告，公司正在筹划通过发行股份的方式购买杭州众硅电子科技有限公司（简称“杭州众硅”）控股权并募集配套资金。中微公司表示，此次交易尚处于筹划阶段，审计、评估工作尚未完成，标的资产估值及定价尚未确定。

中微公司是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高品质的服务。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类，包括十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。

中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD,LPCVD,ALD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司也在布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。在美国TechInsights（原VLSIResearch）近五年的全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司四次获得总评分第三，薄膜设备四次被评为第一。

2025年上半年公司营业收入约49.61亿元，较上年同期增加约15.13亿元，同比增长约43.88%。其中，2025年上半年刻蚀设备销售约37.81亿元，同比增长约40.12%；LPCVD设备销售约1.99亿元，同比增长约608.19%。2025年上半年归属于母公司所有者的净利润约7.06亿元，较上年同期增加约1.89亿元，同比增长约36.62%。

众硅科技是一家高端化学机械平坦化抛光（CMP）设备公司，为半导体行业及其他高科技领域提供优质技术和高效服务。据界面新闻消息，该公司的12英寸CMP设备采用6抛光盘、2列左右平行布局的架构设计，突破目前市场主流设备4盘或3盘的架构模式，可同时支持3盘工艺或2盘工艺，满足先进制程中的各种工艺需求。

据杭州众硅总部所在的青山湖科技城官微文章，到2023年12月，杭州众硅专利总量237件，商标总量104件；其中有效专利118件、有效商标78件。海外知识产权布局方面，专利总量120件，商标总量46件；其中有效专利41件、有效商标37件。 

文章来源：粉体网，内容参考来源，公司官网、界面新闻、券商中国、巨潮资讯网

IPIE2026展会咨询/展会预定：

郝女士 18660997743（微信同号）

媒体合作：

IPIE小助手 15216870501（微信同号）